制备氯化氢气体的方法有很多种,比较常用的有合成法、解吸法、脱盐酸法等。然而,这些方法越来越不能满足许多??行业的要求。
通过解吸脱盐酸制备氯化氢的工艺简单,可以大规模生产,但制备的氯化氢气体纯度较低,越来越不能满足电子工业特别是集成电路的要求。合成法生产的氯化氢气体纯度高,但含水量高,腐蚀严重,设备要求高,生产成本高。考虑到环境保护、行业副产品回收利用等多方面因素,石化副产氯化氢的纯化方法生产高纯度氯化氢确实是大势所趋。
而且该方法不需要添加反应介质,避免了其他杂质的引入,操作简单,生产成本低。但我国在这方面技术还不成熟。我国电子行业使用的高纯氯化氢大部分从美国、日本等国家进口,价格昂贵。随着电子工业向大型化、高集成化、高均匀性、高完整性方向发展,高纯氯化氢得到了广泛的应用。它广泛应用于大规模集成电路的制备,因此需要进一步研究和改进高纯氯化氢的制备方法和生产工艺。